Bei der optischen Glimmentladungsspektroskopie HF (GDOES-HF) werden Argonatomemittels Hochfrequenz in einer Hohlanode ionisiert und in Richtung Probe (Kathode) beschleunigt. An der Probenoberfläche werden dadurch kontinuierlich Atome herausgeschlagen und angeregt. Beim Übergang zurück in den Grundzustand wird ein für jedes Element charakteristisches Licht emittiert, welches gemessen wird. Durch den kontinuierlichen Materialabtrag wird eine Tiefenprofilanalyse ermöglicht.
Einsatzgebiet:
- Charakterisierung von Oberflächen (quantitative Tiefenprofilanalyse)
- Ermittlung der Materialzusammensetzung (Bulkanalyse)
- Verfügbare Elemente: Ag, Al, Au, B, Ba, Bi, C, Ca, Cl, Co, Cr, Cu, F, Fe, H, In, Ir, K, Li, Mg, Mn, Mo, N, Na, Nb, Ni, O, P, Pb, Pd, Pt, S, Sb, Si, Sn, Ta, Ti, V, W, Zn, Zr;
Anwendungen:
- Prüfung von Oberflächenbeschichtungen
- Prüfung von Oberflächenbehandlungen (Beizen, Nitrieren, Phosphatieren, etc. )
- Untersuchung von Diffusionszonen
- Korrosionsuntersuchungen -Überprüfung von Korrosionsschutzmaßnahmen
- Qualitätskontrolle
Spezifikationen:
- Quantifizierung mit zertifizierten Standards
- Simultananalyse von 41 (+1)* Elementen
- *Monochromator zur Analyse eines zusätzlichen Elements
- Bulkanalyse (ppm-Bereich)
- HF-Anregung für leitende und nicht leitende Probenstücke
- HDD –High Dynamic Rage Detector
Tiefenprofilanalyse
- Sputterratenkorrektur
- Tiefenauflösung ca. 10%
- Tiefenbereich: (10)50nm –190μm
Probenanforderungen:
- Analysenfläche: Ø 2 oder 4 mm
- Probendurchmesser: > 15 mm
- Probenkammer für kleinere Proben >2 mm
TiN auf Stahlsubstrat
chemisch Ni-P Beschichtung auf Stahlsubstrat
Cu/Cr/Ni-Multilayer auf Si-Wafer